ion pump

ion pumpは、物理的な可動部品を持たず、電界を利用してガス分子を捕捉するため、振動が発生しないという大きな特徴があります。そのため、極めて高い精度が要求される電子顕微鏡や粒子加速器などの装置において、超高真空状態を作り出し、かつそれを安定して維持するために不可欠な装置です。

真空ポンプとしての特性

一般的な機械式ポンプ（turbomolecular pumpなど）とは異なり、ion pumpは一度ガスを捕捉すると、そのガスを外部に排出するのではなく、内部の固体表面に物理的に固定します。このため、外部への排気ラインを必要とせず、装置の小型化やクリーンな環境の維持が可能です。

運用上の注意点

ion pumpは単独で大気圧から真空にする能力はありません。そのため、通常はまずroughing pumpなどの低真空ポンプで十分に排気を行い、ある程度の真空度に達した段階でion pumpを起動させて超高真空へと導くという手順を踏みます。また、捕捉できるガスの量には限界があるため、飽和状態になるとポンプとしての機能が低下し、再生処理や交換が必要になります。